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?新材料半導體廢氣處理

文章出處:行業資訊 責任編輯:東莞市永綠環保工程有限公司 發表時間:2022-08-26
  ?新材料半導體廢氣處理。與傳統材料相比,新材料產業具有技術密集度高、研發投入高、產品附加值高、國際化生產和市場強、應用范圍廣、發展前景好等特點。其R&D水平和工業化規模已成為衡量一個國家經濟、社會發展、科技進步和國防實力的重要標志。世界各國,特別是發達國家,都非常重視新材料產業的發展。


?新材料半導體廢氣處理

新材料半導體廢氣處理?


半導體作為新材料行業的代表之一,對操作間的潔凈度要求極高,通常采用風機抽取工藝過程中揮發的各種廢氣。因此,半導體具有排氣量大,排放濃度低的特點。這些排放物可分為四類:酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。

RTO再生式焚燒爐設備,簡稱“RTO設備”,是一種利用高溫破壞焚燒的廢氣處理技術。一般用電和天然氣作為加熱能源。廢氣處理雖然是在700℃的高溫下使用,但實際上消耗的能量很少。這是因為該設備可以回收熱能,大大降低能耗,提高廢氣分子的燃燒反應速率。設備主體由燃燒室、陶瓷填充床和換向閥組成。設備的凈化效率也穩定保持在99%以上。
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